Seto 1.60 PhotoChromic objektiv SHMC

1) Šta je spinovanje?

Spin premaz je postupak koji se koristi za deponiranje ujednačenih tankih filmova na ravne podloge. Obično se na središtu supstrata primjenjuje mala količina materijala za oblaganje, koja se ili vrti po malim brzinama ili se uopće ne vrti. Supstrat se zatim rotira brzinom do 10 000 o / min za širenje materijala za oblaganje centrifugalnom silom. Mašina koja se koristi za spin premaz naziva se spin coater ili jednostavno spinner.
Rotacija se nastavlja dok tečnost vrti rubove podloge, sve dok se ne postigne željena debljina filma. Primijenjeni otapalo obično je isparljivi, a istovremeno isparava. Što je veća kutna brzina predenje, tanji film. Debljina filma također ovisi o viskoznosti i koncentraciji rješenja i otapala. [2] Poduzela je teorijska analiza centrifiranja Emslie i sur., A produžili su ih mnogi sljedeći autori (uključujući Wilson i sur., [4] koji je proučavao stopu širenja u prevlaka; i Danglad-Flores i sur., [5] Ko je pronašao univerzalni opis za predviđanje deponovane debljine filma).
Spin premaz se široko koristi u mikrofabriciranju funkcionalnih oksidnih slojeva na staklu ili pojedinačnim kristalnim supstratima pomoću prekursora Sol-Gel, gdje se može koristiti za stvaranje ujednačenih tankih filmova sa debljinama nanozze. [6] Intenzivno se koristi u fotolitografiji, da deponentiraju slojeve fotoresista debljine 1 mikrometa. Fotorezista se obično vrti na 20 do 80 revolucija u sekundi za 30 do 60 sekundi. Također se široko koristi za izradu planskih fotonskih struktura od polimera.
Jedna prednost za okretanje tankih filmova je ujednačenost debljine filma. Zahvaljujući samo-izravnavanju, debljine ne variraju više od 1%. Međutim, okretanje premaza debljim filmovima polimera i fotorezista mogu rezultirati relativno velikim rubnim perlama čija planarizacija ima fizičke granice.